晶圓級全自動量測解決方案
可根據(jù)使用需求靈活的集成多種軟硬件,測量涵蓋電流電壓(IV)、電容電壓(CV)、脈沖式IV、高速時域信號采集、低頻噪聲測試以及多種可靠性測試。
通過概倫自主研發(fā)的低漏電矩陣開關和測量控制軟件,可支持多種業(yè)界主流型號的探針臺,實現(xiàn)半自動或全自動的晶圓級測試,適用于多種自動化量測場景。
廣泛應用于晶圓級電學參數(shù)測試,測量控制軟件內建大量電性參數(shù)測試設置,可快速實現(xiàn)Vt、Gm、Idlin、Idsat、Ioff、Swing、Cgg等參數(shù)的全晶圓器件測試。
適用于器件模型數(shù)據(jù)測試需求,一套系統(tǒng)即可完成包括IV、CV和1/f噪聲等特性的測試,為建立SPICE模型提供全面數(shù)據(jù)支持和高效高質量的數(shù)據(jù)產(chǎn)出。
在晶圓級可靠性測試方面,測量軟件內置符合JEDEC標準的HCI、BTI、TDDB、Ramp測試算法,并支持多點位測試,保證全晶圓器件可靠性的準確評估。
支持TFT電學特性測試和應力測試,包括TFT轉移特性、輸出特性、接觸電阻、CV特性以及BTS和電流應力測試。
滿足直流IV測試、
脈沖式IV測試、瞬態(tài)時域測試、
高速波形發(fā)生與測量、電容測試、
低頻噪聲和可靠性測試等多種需求
保持精度的同時大幅提升測試速度
支持多通道并行測試
極大提升了測試效率
輕松應對高密度測試
采用模塊化硬件架構
在保持緊湊機身的同時
可依照需求擴展
滿足實驗室復雜多變的測試需求
測量控制軟件LabExpress
直觀的圖形化界面
用戶友好
擴展性強
內置測試算法庫
完成強大測試分析功能
允許用戶編寫腳本
實現(xiàn)自定義測試流程
軟件能輕松控制多種探針臺
和矩陣開關設備
方便完成晶圓級數(shù)據(jù)的
自動測試任務
晶圓級
電學參數(shù)測試
晶圓級
可靠性測試
器件模型
數(shù)據(jù)測試
TFT電學特性
& 應力測試